二手 KLA / TENCOR AIT XP #9230562 待售

KLA/TENCOR AIT XP是一种自动化晶圆测试和计量设备,为缺陷管理和过程控制提供解决方桉。该系统结合了先进的分析、集成算法和高精度测量能力，为用户提供晶圆物理特性的详细数据，包括但不限于表面地形和几何形状、晶圆厚度、晶粒结构、磨损特性和光学表征。KLA AIT XP支持半导体材料、元件和器件的高通量测试和计量,具有极高的准确性和可重复性。该单元有多个传感器，包括光学、激光散射、X射线荧光、声学、涡流和涡流光学探测器。这些传感器向用户提供全场反馈,使他们能够检查晶圆在机器视野之外的区域。该机器还配备了一台计算机视觉机器，用于自动缺陷分析，以检测各种测试参数上的模式、浓度和单个缺陷。该工具的高级逻辑算法能够在几秒钟内测量晶圆的众多物理和电气特性,并提供可用于识别趋势和预测电路性能的数据。通过集成的设计规则，用户能够开发用于过程控制和产生分析的定制配方。该机器还提供各种报告工具，以便于数据分析，以及实时性能监测和晶圆级质量控制的应用程序库。该资产的设计目的是以最少的维护进行操作,其直观的控制可确保任何用户都能得到快速的培训,并以最快的速度使用模型。TENCOR AIT-XP配备了强大的软件平台，为用户提供实时的数据采集、数据分析以及多种通信选项，以更好地理解和管理整个过程。综上所述,KLA AIT-XP是一种自动化晶圆测试和计量设备,它为质量控制和过程分析提供了最先进的工具。该系统将强大的传感器和算法与集成的软件平台相结合，为用户提供详细的数据和性能指标。直观的控制单元保证了最低限度的维护、快速的操作和轻松的训练。利用AIT XP,用户可以轻松地识别缺陷,检查视野之外的区域,并以高精度和可重复性执行过程控制。