二手 KLA / TENCOR AIT XP #9253785 待售

KLA/TENCOR AIT XP是一种晶圆测试和计量设备，旨在确保半导体器件的高质量生产。该系统设计用于检测和验证晶片质量,通过自动测试和测量物理电性能,如厚度、掺杂浓度、电阻率、薄膜均匀性、晶粒结构、电迁移、缺陷、模具结构和模具损坏。该单元的核心由光学显微镜、自动级和机器人处理程序组成。显微镜包含具有挑战性的光学、长工作距离和延长工作距离的目标。自动化级能够相对于晶片移动刀具，并对级坐标和晶片倾斜度进行控制。最后，机器人处理程序被用来拾取和放置晶片进入机器，也改变/加载光源。此外,KLA AIT XP还包括完整的图像分析软件,该软件提供自动测试和测量分析,以及无标签缺陷检测、彩色滤镜缺陷检测、迭加测量和分析以及主动隐身功能。该软件旨在通过利用硬件的速度和准确性来实现吞吐量和准确性的最大化。该工具还为用户提供了一整套报告和数据可视化工具。这些工具允许比较测试结果以确定趋势,并导出用于晶圆控制图表、故障分析或其他应用程序的详细信息。综上所述，TENCOR AIT-XP是一种综合性晶圆测试和计量资产，它通过一系列自动化测试、成像和分析工具提供了高度的准确性和质量保证。该模型用途广泛，可用于研究模具结构、缺陷、薄膜均匀性、电阻率、掺杂浓度和模具损伤。因此，TENCOR AIT XP是保证半导体器件高质量生产的理想设备。