二手 KLA / TENCOR AIT XP+ #9255307 待售
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KLA/TENCOR AIT XP+是一种高度先进的晶圆测试和计量设备，专为当前和未来的半导体晶圆技术而设计，如FinFET等先进节点。它是来自KLA的这一系列超精确测量工具的最新一代,它提供了许多功能和特性,可帮助客户将晶圆特性和过程控制提升到新的水平。KLA AIT XP+是一个自动化晶圆测试和测量系统，能够以前所未有的速度和精度提供高精度的测量。该单元采用精密的激光干涉仪技术，以几埃分辨率测量单个纳米级特征，远远超过了许多实验室使用的传统光学剖面仪。此外，机器还可以执行许多其他测试和计量任务，如厚度计量、线宽测量、薄膜应力测量和地形成像。TENCOR AIT-XP+还提供了若干高级功能,使客户能够深入了解其晶圆特性、过程控制和可靠性过程。例如,该工具包括一个实心浸入式透镜（SIL）模块,以实现高长宽比结构（如finFET）的精确测量。此外,该资产还提供了广泛的高级数据分析技术,以帮助客户优化其流程性能。AIT-XP+还为各种基板和各种应用提供了卓越的精度、精确度和可重复性,使其成为最通用的晶圆测试和计量系统之一。其创新的设计和尖端的技术也使其非常适合在上市时间和可靠性至关重要的环境中进行极端精确的处理。最后，AIT XP+是为下一代半导体晶片技术设计的一种特殊晶片测试和计量模型。它提供业界领先的准确性、精确度和可重复性,以及许多高级特性和功能。此外，它的创新设计和尖端技术非常适合极其精确和快速的加工，使其成为可用于先进半导体研发的最有价值的工具之一。
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