二手 KLA / TENCOR AIT XUV #9113703 待售

KLA/TENCOR AIT XUV是一种晶圆测试和计量设备。它提供了对先进集成电路和其他纳米结构材料的微观和纳米级特性的独特洞察。随着越来越小的半导体技术的进步，KLA AIT XUV利用最新的光伏、电子和离子成像技术提供实时计量能力。它具有测量到纳米级的器件结构的能力，并且由于其高通量的设计提供了快速的数据采集。TENCOR AIT-XUV具有微型粒子加速器，能够进行直接晶圆离子成像、电子通道对比度成像和X射线检查。该系统还包括用于高分辨率地形图像的高分辨率带电粒子显微镜。该设备是分析设备性能以及优化设备结构的理想设备。它还提供来自浅层和埋层高分辨率图像的全面2D和3D信息。该机器提供先进的快速清洁和安全技术,使用户能够轻松识别和清洁产品表面的物质污染物。此外，该工具还提供了快速吞吐量检测的高吞吐量模式，以及数据完整性和提高准确性的低噪声信号处理算法。AIT-XUV采用多路复用器设计，以增加样品吞吐量并允许同时扫描多个芯片。样品采用高度可配置的激光间接对准资产精心装卸，确保各部分定位定位准确，该型号满足半导体行业在图像精度、分辨率、可重复性、吞吐量、灵敏度等方面的严格要求。此外,KLA/TENCOR AIT-XUV还提供带有压力传感器、通量监视器和温度控制器的温度控制真空室。总体而言，KLA AIT-XUV是详细检查纳米结构的可靠且通用的工具。它具有高精度、高通量的分析能力，是集成电路和先进材料微观表征的理想选择。