二手 KLA / TENCOR AIT XUV #9240637 待售

KLA® KLA/TENCOR AIT XUV™是为半导体行业设计的强大、高性能的晶圆测试和计量设备。它利用极紫外线（XUV）源技术，检查测量晶圆的物理、机械和电气特性，提供高分辨率成像、快速晶圆映射和精确的晶圆分析。KLA AIT XUV系统使用最先进的XUV光源,提供了前所未有的细节和分辨率,可达4纳米,从而实现突破性的筛选和分析精度。该单元采用高功率脉冲XUV激光器，结合先进的成像光学和数字图像分析平台，提供卓越的成像能力和数据收集。该机器支持快速晶圆映射和分析，在一小时内对数百个晶圆提供晶圆轮廓和缺陷分析。功能丰富的工具提供自动化的非接触式检查,允许对晶圆曲面进行完整映射。TENCOR AIT-XUV平台以其纳米尺度的计量能力提供卓越的晶圆测量精度和重复性。这包括覆盖精度、粒径和表面粗糙度测量以及临界特征测量等参数,所有这些参数都是在不接触或不处理晶圆的情况下执行的。TENCOR AIT XUV资产还能够进行复杂缺陷分析。它利用其先进的成像技术捕获缺陷的详细图像，并快速确定其大小、形状和位置。AIT XUV结合其通用的样品处理模型,提供了一个具有卓越缺陷分析功能的通用平台。没有其他晶圆测试和计量设备能够提供与KLA/TENCOR AIT-XUV相同水平的成像细节、分析速度和精度。这种坚固可靠的系统旨在提供最先进的性能和最大的正常运行时间,使其成为任何生产环境的理想选择。KLA AIT-XUV单元具有灵活的模块配置和多应用功能,为晶圆测试和计量提供了全面的解决方桉。