二手 KLA / TENCOR AIT #149930 待售

KLA/TENCOR AIT（Automated Inspection Technology）是晶圆检测解决方桉的领先供应商KLA制造的晶圆测试和计量设备。它用于检查半导体等微电子器件在生产过程中的质量，通常是在集成电路（IC）制造阶段。该系统的工作原理是扫描电子模具（电路元件层），并用高分辨率显微镜测量结果。然后,它会自动将这些图像与客户提供的一组定义的规范进行比较,并使用软件算法查明任何缺陷。KLA AIT使用了一系列集成的最先进的技术来精确测量晶圆并提供对制造结果的深入分析,帮助在过程和设计问题导致产品故障之前确定它们。该单元包括一个功能强大的多色显微镜，允许操作员检查小到1微米的特征。它还具有多种先进的光学元件，包括光谱仪、CCD相机和各种光学滤光片。这些使显微镜能够获取有关正在测试的设备的更多信息，并为用户提供高度敏感的计量数据。该机还可与自动光学检查（AOI）平台配合使用，该平台设计用于通过对晶片进行快速光学扫描，以前所未有的效率检测缺陷。AOI可以帮助减少测试时间，因为它可以通过一次扫描快速发现问题，而人类则必须手动检查每个死亡。TENCOR AIT利用这些AOI和计量技术的结合，对设备缺陷进行了高效的检查、测量和分类，为用户提供了对设备状况的全面分析。AIT无缝集成了数据收集和分析、物理检查和模具级分析。它为用户提供详细的报告和分析,使他们能够做出明智的决策,同时优化其制造过程的性能。其直观的界面和灵活的配置选项使IC制造人员能够实现一致的过程优化级别和设备质量保证。KLA/TENCOR AIT具有先进的特性和功能,是晶圆测试和计量环境的重要组成部分。它结合了强大的光学元件、灵活的控制软件和用户友好的界面,使其成为快速识别小缺陷和降低生产成本的理想工具。通过提供可靠的分析和反馈,KLA AIT有助于降低设备故障的风险,并确保产品的生产质量始终如一。