二手 KLA / TENCOR AIT #149932 待售

KLA/TENCOR AIT（Advanced Inspection Technologies）是一种综合性的集成晶圆测试和计量设备，旨在满足先进半导体应用的关键需求。该系统结合了技术最先进的技术和方法来评估、测量和表征各种晶圆类型、几何和特性。该单元采用最先进的光学、成像和计算机视觉以及基于物理的分析和计量软件。KLA AIT的主要元素包括高分辨率相机、图像处理工具、扫描电子显微镜（SEM）、图像捕获和重建机、光掩模标线、激光和3D剖面仪。高分辨率相机检测晶圆形状和拓扑结构的微小变化，以识别否则可能被忽略的细微缺陷。此外，它与成像和运动控制软件相结合，提供了最高精度和精确的晶圆对准。SEM能够产生晶片表面的图像,并且可以检测到各种无法使用照相机检测到的缺陷。它对晶片上存在的特性，如水分和缺陷的精确分析，可以在生产过程的早期发现问题。图像捕获和重建工具可以对晶片进行精确的3D检查。可以分析表面形态和缺陷等特征的大小和形状。这些信息可以与相机图像和SEM数据结合起来，准确识别晶圆上的任何缺陷。光掩模标线允许详细评估晶圆元件的对齐方式。扫描激光器用于激光蚀刻晶片的图样，三维剖面仪提供整体形状和尺寸信息。最后，TENCOR AIT可以与其他计量仪器集成，如原子力显微镜（AFMs）和扫描白光干涉仪（SWLI），提供一套全面的晶圆测试和计量能力。综上所述,AIT是一种先进的晶圆测试和计量资产,它结合了最新的技术和复杂的软件来检测和表征各种晶圆类型、几何形状和特征。通过利用最先进的组件并与其他计量仪器集成,它为半导体制造商提供了全面、准确和精确的晶圆测试和分析能力。