二手 KLA / TENCOR AIT #293595750 待售
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KLA/TENCOR AIT(Advanced Inspection Technology)是一种用于半导体制造的晶圆测试和计量设备。它提供了一种快速、准确、高效的方法来测量和分析晶圆制造和包装过程中的缺陷。这种高精度系统能够执行各种各样的晶圆测试、计量和检查任务,包括光学检查、电子束成像、激光衍射、透射电子显微镜(TEM)、抗密度测量、粒子检测、冷冻样品成像(CSI)、烧伤测试、自动缺陷审查(ADR)。该单元的检测能力从考察晶片的独特表面特征、检测样品上发现极小的颗粒,到完成芯片性能分析。集成检测解决方桉可显着提高吞吐量和节省时间,同时提供异常精确的结果。它还提供了图像分析自动化,它提供了支持流程优化的可重复和可靠的指标。该机器可实现全自动扫描、粒子检测和晶圆生产过程的所有阶段的全面检查,从开发到制造。这样可以确保最终产品符合OEM的质量标准,从而获得最大的可靠性和性能。该工具融合了高速、高精度、自动聚焦和SEM扫描,提供全面的缺陷检测,满足从光伏电池到内存设备制造的广泛晶圆技术。除了自动晶圆测试之外,资产还提供了许多其他功能。它支持手动和全自动采样,其结果可立即用于演示和分析。还可以对其进行优化,以便在制造过程的每个阶段确定潜在的污染源和成群的缺陷,从而确保对整个过程进行控制。它还能够进行积极的产品识别和跟踪,以实现可追踪性。通过提供此级别的准确性、性能和自动化,KLA AIT模型使半导体制造商能够最大限度地提高产量,降低产品成本并优化其总生产成本。结果是一条更具竞争力和效率的生产线,确保他们的产品超过行业标准和客户期望。
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