二手 KLA / TENCOR AIT #293751271 待售
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ID: 293751271
晶圆大小: 8"
Defect inspection system, 8"
(2) Racks
Blower
Does not include aligner.
KLA/TENCOR AIT,又称晶圆测试计量设备,是一种先进的检测系统,旨在精确检测和测量半导体晶圆中的缺陷。它与晶片晶片配合使用,以便检查晶片表面并测量关键尺寸、缺陷或图样。该单元利用机器视觉和基于物理的技术相结合,产生高度准确的结果。这台检测机采用透镜和镜子、激光光源、传感器等多种光学元件的组合,从多种方向操纵光,创建晶圆表面的3D图像。这允许对晶片表面进行高度详细的查看,以帮助以高精度检测任何异常。该工具还配备了计量资产,使用探针、垫和扫描方法来测量晶圆表面的关键尺寸并确定其质量。KLA AIT先进的检测技术提供了比其他传统检测方法明显的优势,因为它能够以非常高的精度检测和测量。这保证了晶片晶片所产生的晶片是无缺陷的,符合要求的规格。该模型还非常有效地减少了获得晶圆质量反馈所需的时间,特别是在大批量生产线中。总体而言,TENCOR AIT是一种用于半导体晶片质量保证和缺陷识别的高度可靠的设备。通过提供一种自动化、高度精确的晶片检测和测量方法,可以帮助降低晶片制造成本,提高产量,提高晶片整体质量。
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