二手 KLA / TENCOR AIT #72571 待售

KLA/TENCOR AIT是一种晶圆测试和计量设备，自动化测量半导体器件物理特性的过程。该系统能够每小时扫描多达2000个晶圆，提供快速可靠的分析。该机采用高速激光计量和微秒控制装置，精确地获得了± 0.1微米的精密测量结果。该工具由多个组件组成，这些组件协同工作，在扫描晶圆表面时纳入实时数据的非接触测量。这包括一个X-Y阶段，即资产的平台，允许它以精确的定位在晶圆上移动。一个激光计量头被用于探测地形的变化，以及一个皮秒控制模型。利用高度、变化、宽度和平面四个不同的通道获得精确的测量结果。使KLA AIT设备与其他晶圆测试系统脱颖而出的进步是其高分辨率摄像机、最佳光学器件以及晶圆识别的专有算法，从而最大限度地减少了任何测量误差。它有内置的校准和验证测量，以检查关键测量的准确性，如焊球和装置侧壁。除了综合测量能力外，TENCOR AIT系统还具有高速、无损检测和自动化过程控制功能。这为工程师和制造人员提供了准确、精确地测量设备所需的工具,同时调整可能需要更改的任何工艺参数。总体而言，AIT装置是一种创新的晶圆测试和计量机器，以前所未有的速度提供快速和准确的测量。它能够每小时扫描多达2000个晶圆,并为技术人员提供正确测量设备和调整任何参数所需的工具。这项尖端技术可加快上市速度,同时提供一致准确可靠的数字。