二手 KLA / TENCOR AIT #9190534 待售

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KLA / TENCOR AIT
已售出
ID: 9190534
Patterned wafer surface inspection system.
KLA Advanced Inspection Technology,KLA/TENCOR AIT)是一种晶圆测试和计量设备,用于识别和表征晶圆上引起缺陷特征的计量。该系统使用全自动机器人系统捕获高分辨率图像。然后使用模式识别算法来检测图像中的细微形状和模式,提供更全面的晶圆图片,非常适合缺陷检测和表征。KLA AIT单元可以在任意尺寸层和200 mm晶圆上运行。它还具有较低的失效晶圆率和提高的产量。这台机器使客户能够通过其高分辨率输出实时捕获和分析缺陷图像,从而提高产品质量和产量。TENCOR AIT工具提供了一个经济高效的解决方桉,以提高晶圆厂的生产率,减少检查周期时间,以及总铣削和研磨时间。AIT资产具有简化晶圆检测的直观用户界面。它可以收集微小的缺陷显微照片,并为客户提供图像和分类信息。模型还可以识别缺陷是否落在一定的尺寸范围内,并根据缺陷的属性来识别细微的形状来对缺陷进行分类。KLA/TENCOR AIT设备为改进缺陷检测和表征打开了大门。它可用于设备和工艺鉴定、过程可持续性、故障分析、模具产量估计和误报减少。经过TENCOR验证的晶圆测试和计量系统在许多客户应用程序中同样可靠。KLA AIT单元是一种高度专业化且易于使用的过程控制器,精度精确,能够检测到最小的缺陷。该机器的设计目的是提供可靠、可重复的结果,而测试和计量结果的变化很小。此外,该工具旨在通过管理身份验证令牌和安全的数据传输过程来保护客户数据并确保隐私。KLA/TENCOR高级检验技术提供晶圆测试和计量解决方桉,使晶圆能够增强节点均匀性、降低产品产量并优化设备和工艺性能。有了TENCOR AIT资产,客户可以显着降低报废率、拒绝率和工艺漂移,并提高其工厂的性价比。
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