二手 KLA / TENCOR AIT #9239215 待售
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KLA/TENCOR AIT(Adaptive Inspection Technology)是KLA开发的晶圆测试和计量系统。KLA AIT旨在以更高的速度和精度对半导体晶片进行检测和定性表征。该系统将高速专有图像处理技术与自动化电气测试相结合,检测不可见的生产产量元件。TENCOR AIT的首要目标是减少降低晶圆产量的不可见故障。AIT因其用于对晶圆微观结构的详细检查而常被称为"第三眼"。它利用先进的软件算法来查找降低产量的最小、看不见的眼睛缺陷。机器的内置机器视觉由一系列高级传感器组成,这些传感器捕获晶圆的图像,以便检查表面拓扑和均匀性。然后对这些图像进行分析,以非常高的速度检测尺寸参数(如特征、粒子分布和动态缺陷)的变化。该系统的独特之处在于它能够在宏检查过程中将电气测试与晶圆表面图像相结合。一般而言,KLA/TENCOR AIT提供了最先进的计量和成像与缺陷成像功能的组合。这使得它甚至可以找到可以降低晶圆产量的最小缺陷。凭借其创新的扫描、探测和测试功能,KLA AIT可以快速发现并查明产量缺陷,分辨率高达10微米。它还可以识别和测量关键尺寸,例如线宽、特征高度和闸门区域,以确保产品的高产。总体而言,TENCOR AIT为半导体制造领域的公司提供了增强的质量控制和提高的产量。它可以检测、隔离和识别最小的可见和不可见的缺陷,帮助企业在半导体行业中保持竞争力。AIT具有先进的成像和探测功能,对于半导体行业的公司来说,它是一个可靠且必不可少的工具。
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