二手 KLA / TENCOR AIT #9252969 待售

KLA/TENCOR AIT是一种晶圆测试和计量设备，主要用于半导体工业。它结合了一套自动化光学检查（AOI）系统和先进的计量硬件和软件，提供高速自动化晶圆扫描、分析和测量能力。该系统专为大容量晶圆测试和计量而设计,可提高吞吐量并加快上市速度。KLA AIT单元包括自动化测试设备（ATE）和集成光学测量机（OMS）的组合，以提供全面的测试和计量能力。该工具的光学资产用于查找和准确定位缺陷,以及测量任何类型的晶体管,包括高度缩放的小型几何设备。OMS包括一个可以提供2 µm分辨率横跨晶片的高分辨率相机，以及一系列光学检查和计量工具。TENCOR AIT模型还具有用于自动测试和计量的模式控制设备（PCS）,提供实时缺陷、形状、大小和颜色数据。PCS的自适应响应技术可实现更精确的对齐和特征提取,从而显着提高产量。该系统还设有晶片跟踪单元（WTS），该单元集成了OMS、PCS和其他技术，以监测晶片运动和防止污染。AIT机器的软件具有一组用户友好的图形工具,可快速、方便地访问该工具的测试和计量功能。它具有用于快速查看结果的内置数据分析工具,以及一组用于促进缺陷选择和分析的模式识别工具。资产还包括一套用于生产线诊断、过程控制和过程优化的晶圆分析功能。简而言之，KLA/TENCOR AIT是一种综合性的晶圆测试和计量模型，旨在提高吞吐量，缩短上市时间，最大限度地提高产量。它提供了一个集成的AOI设备，具有先进的计量硬件和软件，能够自动测试、分析和测量纳米级的晶体管。KLA AIT系统具有用户友好的工具和内置的数据分析功能,为半导体制造提供了高效、经济高效的选择。