二手 KLA / TENCOR AIT #9256108 待售

KLA/TENCOR AIT是一种晶圆测试和计量设备，集成了测试和检验技术，用于高生产率的半导体晶圆分析。该系统旨在实现业界领先的2D和3D体系结构测试速度和精确空间测量。KLA AIT结合了复杂的应用和功能，在单个平台上提供自动对齐、测试检测、缺陷识别和分类、高精度计量和相关性分析。晶片测试单元由一个模块组成，该模块结合了离线校准、高速和大视场扫描、可靠的自动对准、统计过程控制、晶片与晶片的相关性以及现场测试等几个重要功能。该机器能够处理直径达300毫米的大尺寸晶片，具有优异的缺陷检测精度，提高了产量。其先进的测试技术提供高通量缺陷检测和同时多传感器测量。TENCOR AIT工具具有直观的图形用户界面,易于操作,并具有强大的硬件,可实现可靠而强大的测试性能。该资产利用高精度光学对准模型来缩短曝光时间，并在不同的传感技术中自动对准晶片。此功能可确保所有测试配置的一致精度和可重复测量。此外,该设备设计为具有灵活的分组,可同时测量多个样品,从而实现更快的测试吞吐量。它还具有智能缺陷管理解决方桉、增强的摄像头系统、更好的相关性算法以及高级晶圆映射功能。AIT能够检测和分类最微妙的缺陷,帮助客户优化晶圆制造过程并推动产量提高。该系统是先进晶圆操作的组成部分，为每个应用程序提供一致的过程中晶圆测量和测试结果。此外,软件套件还提供强大的数据分析功能,可实时显示测试结果。这使客户能够轻松排除流程问题并提高整个流程的性能。