二手 KLA / TENCOR AIT #9296265 待售
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KLA/TENCOR AIT是一种晶圆测试和计量设备,是一种先进的成像和分析工具,旨在帮助识别和解决下一代晶圆中的缺陷。该系统提供高度详细的2D和3D成像、分析和报告晶圆的整个表面积。它专为缺陷分类、打印通过缺陷、正确的放置验证、切碎检查和桥接故障分析等任务而设计。KLA AIT单元提供各种类型的高级成像,如亮场成像、自动聚焦图像捕获以及各种自动检查技术。其先进的成像和分析机器提供精密和快速的缺陷识别,并提供高灵敏度检测甚至小缺陷。它允许用户快速对缺陷进行分类和优先排序,确定其生产过程中的趋势,并最终提高设备产量。TENCOR AIT工具提供晶片的特性,包括统计、缺陷密度映射、线宽分析和模式识别。它还提供集成的缺陷审查功能,提供故障分析的快速反馈,并帮助用户隔离问题区域。此外,该资产还提供了自动化的表面缺陷检查和工艺集成功能,可实现高速模模或晶片对晶片的比较。此外,AIT可用于从多种工具中识别计量数据的趋势,并提供各种报告选项,如晶圆报告和缺陷摘要以及简明的图形输出。它的用户友好界面和自动化操作也被设计为帮助用户快速、准确地设置和执行不同类型的检查。总体而言,KLA/TENCOR AIT是晶圆测试和计量的强大工具,使用户能够有效地识别、隔离和解决下一代晶圆中的缺陷。它是提高设备产量和优化工艺的宝贵资源,保证了高质量设备的生产,降低了成本。
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