二手 KLA / TENCOR AIT #9389839 待售

KLA/TENCOR AIT，一种晶圆测试和计量设备，是针对先进半导体制造要求的自动化晶圆检验和计量系统。它由一个金属框架和多个自动化的机器人工具组成，使晶片在卡盘上的精确定向、超声波清洗、光学检查和必要的计量。该系统通常包括一个激光干涉仪和一个软件包，可以对设备进行全面控制。激光干涉仪用于测量晶圆表面上的任何距离或位置变化。该单位可以测量晶片的厚度、平坦度和表面粗糙度，精度高达1nm。机器还包括一个自动化视觉工具，其中包括高分辨率相机、光学、激光和照明，可以编程用于个性化检测。它可以检测晶片表面的任何一种污染或缺陷，如裂纹、夹杂物、颗粒和划痕。此外,它还可以检测晶圆上是否存在模式,并产生详细的相关性。此外，资产还包括自动采样和图像采集以及专有技术，以产生可靠的数据点，保证产量。例如,它可以将晶片拍摄的图像与预定义的参数进行比较,以确定均匀性和一致性级别。此外,该模型还使用户能够管理多个过程并执行分析实验。它提供了全面的数据分析工具，使操作员能够借助高级图形输出分析晶片的趋势和行为。它还可以帮助确定可能需要调整以达到最佳生产性能的工艺参数和其他设备变量。由于其灵活性和能力，KLA AIT在半导体行业被广泛接受。该系统通过提供高速自动化检查和数据采集功能,显着提高了生产率并降低了成本。此外,扫描速度高达每小时800晶圆,大大缩短了检查时间。总体而言,TENCOR AIT是一个高级设备,可帮助半导体制造商提高生产效率、质量和成本效益。它的自动化工具为分析提供了可靠的数据点,使用户能够立即采取行动以确保流程优化。此外，它的自动化视觉机提供了污染和缺陷的详细分析。该工具极具可靠性和成本效益，帮助企业减少检验时间，提高好晶片的产量。