二手 KLA / TENCOR Aleris CX #9315378 待售

KLA/TENCOR Aleris CX是一种先进的晶圆测试和计量设备，专门设计用于提供各种半导体器件的高效计量。这种自动晶片测试和计量系统旨在以最大的吞吐量和高度精确的测量结果运行,特别是在缺陷审查、高级光刻、参数测试和产量优化等领域。该单元是模块化的，集成了三个主要组成部分：检验机、计量工具和特征比较资产。检测模型是高速缺陷检测、晶片上各种粉末检测、CD、覆层、厚度、电阻率、平整度检测的全自动设备。它还支持自动和手动缺陷审查。它采用大功率成像光学、多束激光散射法进行无损码，激光印刷进行晶圆识别。计量系统提供高级计量功能,包括CD、迭加、计量、电阻率、电阻变化、平坦度和其他高精度测量。它利用先进的软件算法提供了非常准确的结果。它也具有很高的可扩展性，允许在一次运行中快速评估多个晶片。功能比较单元是一个先进的计量机器，提供快速和精确的测量晶体管设备。利用图像重建算法和基于物理模型的彷真相结合，分析了晶体管器件的特性。该工具旨在测量晶体管器件的时序以及隧道电流和泄漏电流等其他晶体管特性。KLA Aleris CX是一种先进的测试和计量资产，用于测量各种精度和速度最高的半导体器件。它提供了高效的缺陷检测，支持多光束激光散射测量，快速准确的特征比较。该模型具有高度模块化,可根据客户需求轻松定制其各种组件。