二手 KLA / TENCOR Aleris CX #9380621 待售
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ID: 9380621
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Film thickness measurement system, 12"
(3) Loadports with KAWASAKI robot
With Hard Disc Drive (HDD)
P/N: 020276-001
2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CX是为半导体和MEMS制造而设计的晶圆测试和计量设备。它将最新的光学和X射线成像技术整合到一个减少缺陷水平和提高产量的大容量平台中。它有助于缩短周期时间并提高生产吞吐量。KLA Aleris CX采用600毫米高速成像系统，能够每小时检查数千个晶圆。它通过双头配置和专用产品的可选多头体系结构提供二维（2D）信息收集功能。这为该单元提供了四个成像卷和六个独立定位的摄像机（两个分别用于散焦、表征和衍射成像）。此外，成像机易于调节，使其能够捕获表面特征和深层地下特征的制造晶片。该工具采用KLA专有算法来执行检查和缺陷表征。这些算法允许TENCOR Aleris CX以高精度和灵敏度检测新出现的缺陷和多重故障模式。Aleris CX还有助于自动实现晶片到晶片以及晶片到标线的内联过程相关性。它可以比较各晶片或工艺的检查结果，以快速识别工艺偏移和缺陷。该资产提供快速的图像捕获、检测器倾斜测量和高速缺陷定位。它还可以进行深度剖面图和详细的3D地形分析。此外,KLA/TENCOR Aleris CX的X射线成像能力使其能够检测非常规图案晶片上的薄膜材料堆栈。KLA Aleris CX具有直观、用户友好的图形用户界面（GUI）。这个直观的界面结合了灵活的集成过程和模块化软件体系结构,为制造商提供了一个通用的晶圆测试解决方桉。TENCOR Aleris CX具有高性能的成像和计量特性，是半导体生产及MEMS、生物医学器件制造等行业晶圆测试和产量管理的理想选择。该模型可通过缩短上市时间、改进过程控制和提高产量来促进成本节约。
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