二手 KLA / TENCOR Aleris HT #9231452 待售

KLA/TENCOR Aleris HT是为半导体晶片在线质量保证而设计的最先进的晶片测试和计量设备，符合半导体行业最严格的要求。该系统首先能够对单个晶片进行全场测试和计量，使其处于最新先进晶片测试和计量技术的最前沿。KLA Aleris HT使用先进的光学器件和晶圆分析引擎，提供了比上一代晶圆检测系统更多的好处。单位的关键能力之一是速度和准确性。由于该机器能够以高达750 mm/秒的速度对全晶片的数字图像进行成像和分析,TENCOR Aleris HT可以快速检测晶片中的任何异常或故障,从而能够快速进行过程校正和纠正操作。同时，其先进的CCD成像技术也确保了该工具提供像素大小仅为1.1微米的超高分辨率成像。低噪声、低背景噪声和低噪声分析功能能够捕获和呈现可靠的结果。部分由于其捕获甚至微观缺陷的能力，资产可以识别和量化各种故障和故障模式，如潜伏缺陷、缺陷簇、空隙和粒子非均匀性。这使得Aleris HT可以检测肉眼有效看不见的东西，进一步增强其快速准确诊断晶圆缺陷的能力，并在其他系统的一小部分时间内查明过程问题。KLA/TENCOR Aleris HT还具有"true-to-quipe"的测量特性，使其能够验证晶圆计量的缺陷水平接受。这有助于确保保持总体质量控制,尤其是在复杂操作（如CMP或蚀刻）期间。该模型还集成了图像流和分析，使得实时提供过程漂移数据更加容易。另外，KLA Aleris HT还利用先进的监测技术跟踪晶圆加工和检测环境变化。这项技术加上警报和OPC功能,有助于简化晶圆跟踪,并最终将停机时间降至最低。此外，它的集成校准特性确保了TENCOR Aleris HT始终是健全和警觉的，使得晶圆测试和计量工作变得轻松。作为一种综合性、高性能的设备，Aleris HT使半导体工艺工程师能够尽早发现潜在问题。归根结底,该系统使诊断和纠正晶片缺陷变得更容易、更快,从而在不影响生产质量的情况下实现最大吞吐量。