二手 KLA / TENCOR Aleris HT #9380623 待售
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ID: 9380623
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Film thickness measurement system, 12"
SpectraFX 1000 HT
(2) Loadports with YASKAWA robot
With Hard Disc Drive (HDD)
2005 vintage.
KLA/TENCOR Aleris HT是一种最先进的晶圆测试和计量设备，为生产高性能微电子元件提供先进的机器人技术、可视化和测量能力。它提供了多种测试选项和晶片处理功能,可帮助最大限度地提高晶片质量和吞吐量,同时最大限度地降低成本和时间。KLA Aleris HT支持在扫描和有限扫描几何上进行晶圆测试，包括扫描电子显微镜（SEM），用于对复杂的亚微米特征进行模模和模边检查。模块化系统提供了对多个晶片的同时检查，使用户可以灵活地定制自己的工作流程。借助快速的检测速度和业界领先的5速检测扫描选项,使用TENCOR Aleris HT可以实现高达50%的晶圆吞吐量。除了其先进的测试功能外，Aleris HT还支持晶圆计量。它包括一个独特的扫描近场光学显微镜，这使得极端高分辨率成像，以测量各种关键特征与纳米精度。利用其先进的扫描电容显微镜，该单元可以测量单个互连结构上的电容、电阻和其他电性能。最后，KLA/TENCOR Aleris HT包含一个鲁棒的晶圆分析算法库，旨在自上而下自动检测和隔离晶圆结构各级的缺陷。KLA Aleris HT的用户友好界面允许运营商轻松配置和监控其测试和计量操作。包括的内部审计跟踪功能确保了法医分析的可追踪性。该机器还包括远程访问功能,允许从中心位置控制和监视测试和计量操作。综上所述，TENCOR Aleris HT是一款先进的、多合一的晶圆测试和计量工具，提供先进的机器人技术、可视化和测量能力，以生产出具有更快晶圆吞吐量和更高精度的高质量微电子元件。Aleris HT具有用户友好的界面、可靠的分析算法库和远程访问功能,可帮助制造商降低成本和时间,同时确保顶级产品的质量。
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