二手 KLA / TENCOR Aleris HX #9407132 待售
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KLA/TENCOR Aleris HX是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供各类晶圆的高性能检测、测试和特征计量结果。该系统由一台精密光学显微镜、一个自动采样台和一个强大的分析软件组成。该单元内的精密光学显微镜提供了一种集成成像能力，可以捕获整个晶圆表面或各个位点的图像。显微镜的放大倍率在5倍到100倍之间，用户可以分析故障，如裂缝、空隙和缺陷。显微镜还能够捕捉单个站点的聚焦图像，从而产生用于计量目的的高度详细的图像。机器的自动化采样阶段提供可靠的晶圆处理和高吞吐量。它可以将晶片移动至每分钟30班，直径600毫米的晶片可重复性为0.02微米。该阶段还能够提供高速扫描，在不到3分钟的时间内对8英寸晶圆进行一次扫描。该工具功能强大的分析软件通过集成的用户界面提供高效的工作流,从而缩短处理时间并减少用户输入错误。它还允许用户定义交互式分析条件，分析测量结果和报告详细数据。此外,它使用户能够访问其结果数据库,该数据库提供具有数据分析和比较功能的定制图形和表格报告。总体而言,KLA Aleris HX是一种功能强大的晶圆测试和计量资产,可提供高精度、高吞吐量和用户友好的工作流。它是研究和表征各类晶片的理想模型，包括基板、绝缘体和电阻器。
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