二手 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #293606740 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 100是一种设计用于半导体研发实验室、工业电子生产和相关应用的"晶圆测试和计量"设备。它将基于接触的高级表面轮廓测量、非接触式光学临界尺寸（CD）成像和非接触式地形计量结合在一个自动化平台中。该系统支持手动和自动扫描,允许测量和分析表面地形、晶粒尺寸、横截面轮廓、晶圆形状、边缘斜角、迭加和显微图数据。KLA Alpha Step 100有多种表面轮廓测量选项,包括接触扫描、非接触跟踪、应力缓解测量和层状成像。接触扫描模式通过直接接触测量样品的表面，而非接触跟踪模式获取高分辨率的表面轮廓而不直接接触。此外,应力缓解选项可精确测量受热、机械或化学处理的样品中应力诱导的形状变化。层状成像模式使用户能够测量铝材料中的粒度分布，而各向异性测量模式则提供各种表面条件下各向异性的测量。对于光学CD成像，TENCOR Alpha Step 100具有多个软件包，如Metrotool、Wafertool、Spyglass和Lottolkit。这些功能可以对过程特征（如闸门几何形状、线条和空间宽度、横截面轮廓和迭加数据）进行非接触成像。地形计量能力采用先进的非接触技术，如干涉测量、光学相干断层扫描（OCT）和共焦显微镜，以高分辨率测量样品形状和表面。该单元还提供自动检测和测量边缘斜角和其他复合特征。除了各种测量功能外，Alpha Step 100还提供了一系列自动化的数据处理功能，如用户选择的边缘检测、自动粒子分析、自动图像缝合和拼贴以及假色重构。机器的自动扫描功能允许快速准确的数据收集，而直观的控制软件为用户提供了对所有硬件和数据采集功能的轻松控制。总体而言，KLA/TENCOR Alpha Step 100工具为晶圆测试和计量目的提供了可靠和精确的测量。它是单点和多点研究的多用途、易于使用和经济高效的资产。