二手 KLA / TENCOR Alpha Step 100 #9212962 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 100是KLA Corporation制造的晶圆测试和计量设备。该系统是一个全自动的模对数据库晶片步进扫描单元，为先进半导体晶片在开发、制造和质量控制过程中的表征提供纳米级精度。KLA Alpha Step 100具有超精确级和高级光学机器,可精确测量小至1nm的特性。此外，该工具使用固有的晶片级测量能力来捕获整个晶片上的每个模具，其先进的跨平台软件使其能够方便地访问有关模具位置、产量、产量趋势和特定性能数据的实时信息。资产还包括各种各样的模具级测试，包括衬里和平面变形、线宽位置、CD均匀性、线缘粗糙度和表面轮廓测量。利用步进扫描成像技术和各种光学技术，该模型能够测量到0.15 μ米以下的特征尺寸。这使得TENCOR Alpha Step 100非常适合测量高度先进的全息磁带、CCD、显示器和其他结构的特性。此外，该设备的设计旨在为测试的材料提供极其准确的结果，增加生产时间和效率。健壮的设计还可以提高准确性并消除错误的读数。这有助于确保晶片测试结果的质量最高。为确保最精确和可重复的测量结果,Alpha Step 100的设计采用安装在花岗岩基座上的空气承载台,并结合工业级光学元件。该系统还包括直观的用户控制,例如上下文相关菜单和直观的LCD显示器,以便于使用和快速检索数据。总体而言，KLA/TENCOR Alpha Step 100是一个精确、可靠、易于使用的晶圆测试和计量单元，为高级半导体晶圆的表征提供纳米级精度。该机精度高、故障率低、设计健壮，非常适合研发、制造、质量控制等用途。