二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293588045 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供快速准确的数据,支持产品开发、过程监控和技术转让。该系统为硅、蓝宝石、陶瓷等多种基板的串联测试、过程控制和缺陷分类提供了前沿能力。Alpha Step 200包括两台双束激光扫描仪，一台位移级，一台激光高度传感器，一台具有超高精度电动旋转级的集成计量单元，以及一台集成光学机器。这两种双光束激光扫描仪能够精确测量表面和地下特征，如步高、特征边缘和粗糙度。通过整个晶片的映射，这些特征可以在空间上定位和精确测量。位移级保证了激光光束在样品上的精确导航，提供了精度和可重复性KLA ALPHASTEP 200。激光高度传感器用于定义垂直（或扫描）轴，而集成计量工具包括高精度旋转执行器和电动旋转级提供样品的连续3维分析。最后，集成光学资产提供了额外的灵活性和一套不同的分析技术，如透射光观测、暗场成像、荧光成像等等。通过这一点，TENCOR ALPHA-STEP 200能够提供样品的深入表征，包括地形的高分辨率采集、缺陷检测和成分分布。来自KLA的TENCOR Alpha Step 200为寻求可靠、准确和经济高效的在线测试、过程控制和缺陷表征解决方桉的用户提供了出色的解决方桉。双束激光扫描、高精度电动旋转级、综合光学模型相结合，确保了过程监测、技术转移、开发的快速、精确、综合的效果。