二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293590192 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是为半导体制造工艺设计的晶圆测试和计量设备。它提供了用于故障分析、工艺优化开发和工艺控制的半导体基板关键尺寸和地形的精确测量。这种晶圆检测系统利用非接触式光学计量技术进行多种测量。它能够测量横跨晶片的CD（临界维度），分辨率低至0.3 um。它使用干涉测量技术来提供高度、表面粗糙度、CD均匀度和轮廓测量。此外,KLA ALPHASTEP 200是一个多通道单元,允许用户在单个基板或多个基板上同时对各种测量进行排序。TENCOR ALPHA-STEP 200还具有高速、高精度的晶圆边缘轮廓双级自动扫描功能。这些测量被用于确定晶圆的平坦度、背面扭曲以及其他与晶圆边缘相关的特性。此外,机器还能够检测晶片中的缺陷和异常,如颗粒、污染物或其他违反工艺规则的特性。此功能对于故障分析和过程优化至关重要。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200还配备了SmartAlign技术，在测量过程中自动定位和补偿基板变形、错位和偏置。这样可以确保更高的测量精度和可重复性。再者，该工具可以存储数千个测量程序，使用户能够在不同的测试序列之间快速、轻松地进行切换。ALPHASTEP 200包括一个用户友好的晶圆检查软件包,有助于简化工作流程。此软件允许操作员控制、配置、分析和保存特定进程的测量数据。它还允许对结果进行可定制的报告和分析,从而深入了解生产过程的性能。KLA Alpha Step 200高度自动化,为操作员节省了时间。它设计用于全天候生产环境,即使在恶劣条件下也能提供可靠性和性能。其卓越的精度、多通道能力和SmartAlign技术使其成为半导体行业的理想解决方桉。