二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293600510 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圆测试和计量设备是一种自动化测试和分析系统，能够测量半导体器件的电气和物理性能。该单元利用差动干涉对比度（DIC）显微镜和光学散射技术来测量一系列基板上的电气、机械和结构性能。该机器还提供数据分析以检测非均匀性，并能够检测单个设备的过早故障。KLA ALPHASTEP 200利用了SEM/ESEM、SEU、OBIRCH和EBIRCH等几种不同的测试技术。SEM和ESEM是扫描电子显微镜技术，用于检测表面、金属和绝缘膜造成的电气、机械和结构缺陷。SEU和OBIRCH是Scanning Electron Spectrometry technologies to analyses electrical and physical properties such as sheed电阻、层间电容和接触电阻。EBIRCH（电子反向散射成像）用于检测薄膜和缺陷的高分辨率图像。TENCOR ALPHA-STEP 200利用大视场（FOV）,每个单位区域最多可测试8个样本。这使得每个样品的测量点浓度最高，吞吐量最高，均匀性最好。该工具能够精确检测到1微米以下的小缺陷。该资产还利用高灵敏度探测器，能够检测样品特性因老化和环境影响而发生的微小变化。KLA Alpha Step 200具有支持缺陷分析和可视化的高级成像工具。该模型具有自动图像缝合算法，允许从单个图像创建大面积地图。该设备还利用强大的数据分析工具，如横截面测量、统计、计算指数和延时测量。这些提供了半导体和电介质的自动缺陷结果。该系统非常适合检测产量或工艺变化，测量包括表面地形、薄膜和电气特性在内的物理特性。在要求最苛刻的生产环境中,该设备的坚固运行和最佳吞吐量使其成为提高产量的理想选择。