二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293609363 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供无与伦比的精度和性能。该系统提供了对当今先进半导体晶片的电气和物理特性进行表征所需的高速和高精度测量。KLA ALPHASTEP 200利用业界领先的数字成像技术,准确快速地测量模具级电气和物理性能,如接触电阻和平坦度。该单元的高分辨率晶片图可实现快速的电气表征和屈服分析。借助嵌入式图像处理器,TENCOR ALPHA-STEP 200可提供快速、准确的读数,即使晶圆特性变化很大。该机器采用了一种先进的计量计量学技术,称为"滑动探针技术",能够以尽可能高的分辨率进行单次通过测试。这样可以实现前所未有的测试精度、提高效率和降低成本。该工具获得专利的光学对准功能可确保跨全尺寸晶片的准确过程重复性。TENCOR ALPHASTEP 200具有紧凑的晶片加载资产,允许在几秒钟内测试高达200毫米的晶片。可以在模型中添加一个可选的高真空晶片处理程序,从而能够测试热处理和非易失性晶片。专有的TestFlow软件提供了直观的界面,简化了测试设置和软件控制。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200还提供了广泛的数据存储选项。该设备可与动态数据分析和历史趋势分析软件一起用于综合收益报告。这些数据可用于检测流程变化并产生热点,以便快速识别潜在的流程改进。ALPHASTEP 200是一个革命性的晶圆测试和计量系统,以快速和经济高效的方式提供晶圆级电气和物理性能测量。该装置非常适合希望提高晶圆产量和工艺重复性的半导体制造商。
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