二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293616223 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备，设计用于快速测量晶圆表面。该系统能够测量几纳米以下的表面参数，从而能够快速准确地确定表面粗糙度和表面地形。它采用了独特的单点测量技术，允许前所未有的速度和精度。KLA ALPHASTEP 200利用沿晶圆表面扫描的两束激光束工作。高功率激光测量表面单点或沿线性或圆形扫描路径的高度。第二种参考激光测量晶片的轮廓，允许推导粗糙度、曲率、表面纹理和步进高度等表面参数。该单元还有一个集成的自动对焦机，在测量曲面时无需手动对焦。该工具还配备了多种软件程序，用于控制测量过程、分析数据和制作自定义报告。该软件能够创建详细的报告，提供晶圆表面特性的全面分析。此外,软件还可以比较晶片曲面轮廓随时间变化的情况,从而使用户能够观察晶片曲面特性随时间变化的情况。TENCOR ALPHA-STEP 200能够测量多种表面参数，包括粗糙度、步高、表面地形和表面纹理。资产能够测量各种材料，包括基材、半导体晶圆和金属表面。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200具有很高的速度和精度,是控制生产线质量、确保产品一致性和准确性的绝佳工具。