二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293644262 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种综合性晶圆测试和计量设备，旨在为用户提供晶圆质量分析、表征和优化的最高精度。该系统是第一个能够同时监测、成像和测量各种基板上的各种特性的系统。它提供了多种视图模式,用户可以使用单个成像平台检查、测量和分析基板的不同方面。该设备装备精良，具有自动化的高端功能，能够进行广泛的晶圆计量操作。它有三种成像模式：激光线扫描（LLS）能够实现表面地形映射；傅立叶变换红外光谱（FTIR）允许高度详细的晶圆组成分析；White Light Interferometry提供3D成像以实现纳米级分辨率成像和测量。高级测量功能（如"焦点变化"（Focus Variation）和"现场调整焦点"（On-spot Adjust Focus）允许表征晶片表面的应力和步长测量。此外，机器提供了一系列的质量控制算法和报告功能，以帮助用户监测和提高他们的基材的质量。该工具操作效率高、精度高,能够实现5nm及以下的像素间距。它还提供了广泛的动态范围设置,使用户能够最大化其结果并准确跟踪其生产产量。该资产具有卓越的测量精度和精确度，这得益于其溷合成像技术和强大的硬件体系结构。诸如对比度增强边缘分析（CEEA）和焦点计量（Cocus Metrology）等高端工具增强了模型的计量能力,同时提供了出色的性能。此外,先进的自校准自动对焦有助于在不同晶片上提供准确的结果。该设备设计为用户友好且易于使用,具有简单、直观的图形用户界面,可引导用户完成操作的每一步。自动检查设置和扫描模式选择等多种内置功能可帮助用户节省时间和精力。此外,系统还提供了一系列可视化工具,包括等高线图和晶圆的三维等高线图,以帮助用户比较不同基板的性能。总体而言,KLA ALPHASTEP 200是寻求高效、准确且功能强大的晶圆测试和计量解决方桉的用户的理想设备。该机器具有强大的特性和功能，非常适合广泛的晶圆测试和计量应用。