二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293746497 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圆测试计量设备是一个高性能计量平台，用于精确尺寸计量、表面光洁度分析和定性电气测量。该系统旨在提供纳米精度的计量数据，非常适合半导体生产、器件表征和工艺优化。KLA ALPHASTEP 200利用激光干涉测量技术对包括临界尺寸在内的微观结构的表面特征和特征进行高精度测量。该装置分辨率高达10倍，能够分析40 nm至100 µm之间的结构。它还可以实现高达6平方厘米/秒的极快扫描速度-比传统光学技术快得多。TENCOR ALPHA-STEP 200还执行氧化深度和蚀刻深度测量、泄漏电流、接触电阻和Moire测量等定性电气测量。此外，机器提供多种测量模式，包括RMS和峰谷。所有数据都存储在其大容量硬盘上,以便于分析和共享。TENCOR ALPHASTEP 200无缝集成到复杂的生产环境中,提供了性能、准确性、可重复性和易用性的无与伦比的组合。它采用直观的用户界面和自动工具（如配方创建和数据归档）进行设计。此外，直接从阶梯式探头获得的各种测量技术提供了极其精确的晶圆级测量。总而言之，ALPHASTEP 200提供了高性能计量、精确测量和灵活软件的超强组合。此工具对于生产环境特别有用,因为它提供了测量速度、精度和可重复性的无与伦比的组合。
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