二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792665 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量晶圆表面的轮廓、平坦度和步进高度。利用共焦成像和激光三角测量技术对晶圆的轮廓和高度进行精确的测量。该系统的激光器具有高达200 µm的步进能力，使其能够精确测量细表面特征和小步进高度。KLA ALPHASTEP 200有一个电动线性步进器，它沿着z轴移动晶片，确保激光精确移动到晶片表面的平面。通过测量激光相对于表面的位置，单位可以映射晶片前后两侧的轮廓。此外,它还可以测量晶片上以及多个模具上厚度和平整度的变化。TENCOR ALPHA-STEP 200还包括一个专利极化特征，它可以同时测量晶圆的两侧。这增加了吞吐量并提高了机器的准确性。此外，该工具包括先进的模式识别和修复算法，以确保精确测量具有挑战性的材料。ALPHASTEP 200具有用户友好的触摸屏界面，使用户能够快速、轻松地设置测试参数并监控测试过程。此外,它还与KLA METboard软件兼容,KLA METboard软件使用户能够可视化测试结果、存储数据和生成报告。这样可以确保用户快速解释和分析测试结果。总体而言，KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200是一种可靠、准确的晶圆测试和计量资产。其快速的激光步长和模式识别能力，结合用户友好的界面和先进的软件，使其成为测量半导体晶片轮廓、平坦度和步高的理想工具。