二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293817499 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在帮助提高设备制造的效率和产量。该系统旨在提供构建和测试晶圆样品所需测量的完整覆盖，包括总电容、击穿电压、介电常数和电阻率等电气特性。它还提供了介电厚度、表面地形和栅极氧化物厚度的综合表征。该单元由一个主单元组成，它容纳了先进的光学和扫描电子显微镜（SEM）能力，以及集成的数据分析工具。KLA ALPHASTEP 200采用非接触、无破坏性的光学表面表征，可以测量晶片的介电厚度、表面地形和栅极氧化物厚度，而不会造成损坏。复杂的SEM功能,加上强大的图像分析和测量功能,可以快速识别和表征缺陷。该机器还包括自动化晶圆计量和晶圆探测等高级自动化功能。可以使用多个探针卡,自动任务排序功能消除了手动编程的需要,并消除了操作员与操作员之间的差异。TENCOR ALPHA-STEP 200也可以定制，具有特殊的预规划和后处理功能。设计了一套综合的测量类型，可与先进的表征技术配合使用，以各种参数精确测量晶圆。该工具设计了一整套软件组件,以实现晶圆的测量、分析和报告。自动晶圆映射、模式识别和数据管理功能可实现高效、准确的晶圆分析。此外,ALPHA-STEP 200可以与其他KLA产品和流程集成,以创建一个整体资产,它可以从头到尾提供完整的表征解决方桉。总之，KLA ALPHA-STEP 200是晶圆测试和计量的一个强大而有效的模型。它提供了设备制造所需测量的完整范围，包括电气、光学和扫描电子微观特征。自动晶圆计量和晶圆探测功能使KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200成为高产晶圆生产的理想解决方桉。此外,其功能强大的软件工具可实现高效的晶圆分析、数据管理和报告。