二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293827697 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供快速可靠的晶圆表面测量。具体而言，KLA ALPHASTEP 200提供了对各种材料和特征的精确地形特征，包括小至3.5nm的缺陷和特征。TENCOR ALPHA-STEP 200由几个关键组件组成：基于反射计的扫描头单元、垂直定位系统、样品安装和控制台。垂直定位单元允许精确调整扫描头单元。这对于实现精确测量非常重要，因为头部单元必须在晶圆表面的微米范围内才能准确评估地形特征。扫描头单元由用于检测样品表面地形信息的光学传感器阵列组成。当设备在样品表面上移动时,光学传感器将信息发送到控制控制台,控制台会实时记录表面特性。然后将数据转换为3维图像，便于分析和解读。样品安装用于固定样品,当扫描头越过样品时将样品保持在适当位置。安装件通常由真空卡盘组成,允许测试各种样本量和形状。最后使用控制台控制Alpha Step 200的操作。它提供了一个用户友好的界面，用于设置机器，协调扫描和测量过程，以及收集和分析得到的数据。简而言之，ALPHASTEP 200对于任何希望快速准确地测量和分析晶片表面特征的人来说都是一个无价的工具。它设计灵活,功能准确,是一种强大可靠的晶圆测试工具。