二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #82924 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体的制造和检验。该系统由模具步进器、集成相机和光度单元以及CCD成像设备组成。KLA ALPHASTEP 200能够以高精度和重复性的多分辨率创建样品的非接触式步进扫描表面计量图。它能够成像超过6mm x 6mm的区域。模具步进器可使用电动XYZ级在机器内精确定位样品,而集成相机和光度工具则可实现样品表面的可视化。CCD成像装置用于获取样品的各种图像,产生样品表面极为精确的地图。然后,这些图像将用于测量步长、角度和距离等特征,以及各种其他参数。该资产配备了许多不同的探测器和附件,以实现自动化的表面计量测量。TENCOR ALPHA-STEP 200提供了多种扫描和映射选项,包括单点扫描、高分辨率扫描和大面积扫描。该模型还能够与第三方软件无缝集成,允许与其他平台和系统兼容。TENCOR ALPHASTEP 200设备设计用于半导体制造和检验过程,能够以高通量重复、高精度地测量样品。该系统易于操作,并且在通过一次扫描查找和映射各种特征时提供了灵活性和准确性。该单元还有助于确保在包含的生产环境中满足特定要求。
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