二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9315702 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200晶圆测试和计量设备旨在为各种半导体和MEMS应用提供高度精确和可靠的测量。KLA ALPHASTEP 200使用支持KLA Advanced Vision软件的算法和光学系统,以紧凑、易于使用的软件包提供无与伦比的准确性和速度。该系统采用专利的非接触式晶片检测方法，能够快速可靠地测量临界尺寸（CD）和覆盖标记偏移等关键参数，以及表面处理晶片的时空响应。TENCOR ALPHA-STEP 200采用集成电荷耦合器件（CCD）检测器和安装在精密转盘上的多个检测器来提供大视野。此外，该单元还配备了高数值孔径（NA）光学设计，同时提供多波长和多晶体照明。先进的视觉算法使机器能够以极高的分辨率检测和辨别模式，测量精度达到0.5纳米。这样可以对薄膜表面和厚膜表面进行可靠和精确的测量,并使该工具能够更好地检测和隔离结构特征,如光刻线、切口和尖角。该资产提供了广泛的功能和选项,使其能够量身定制以满足一系列测试和计量需求。它包括用于控制扫描放大倍数、步长大小和字段大小的各种选项,以适应感兴趣的大小区域。ALPHASTEP 200还配备了一系列软件控制的自动化功能，能够实现高吞吐量和高效的测试。综上所述，TENCOR ALPHASTEP 200晶圆测试和计量模型是为快速、可靠地测量半导体和MEMS应用中的关键参数和结构特征而设计的，提供了前所未有的精度和速度水平。支持高级视觉软件的算法和高分辨率CCD检测器使设备能够可靠地检测和识别亚微米级的模式,并实现了高通量和高效测试的自动化。