二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9363076 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备，能够精确有效地测量半导体晶圆上的纳米机械性能。该系统具有多种高级功能,使其具有很高的准确性和可靠性。KLA ALPHASTEP 200带有水平（x轴和y轴）和垂直（z轴）步进扫描仪,使测试表面与测量头和晶圆精确且可重复对齐。这样可确保准确测量地形、关键尺寸和曲面拓扑。它使用两个扫描阶段，一个用于测试头，一个用于晶圆。这对于高精度地捕捉细微细节（如纳米特征）非常有用。TENCOR ALPHA-STEP 200还包括一个独特的光学正方形偏移对准单元，它将光学正方形的可配置性与自动级相结合，导致了比手动方法精确得多的对准。这种提高的精度导致图像更清晰,然后可以对其进行分析以提取曲面特征的完整3 D映射。该机配备了几种图像采集能力，包括标准的亮场成像、背光明场、暗场成像。这允许精确测量曲面拓扑和其他特征,例如步高和侧壁角。该工具具有+/-30 µm的广泛动态范围，方便地迎合各种晶圆尺寸和几何形状。ALPHA-STEP 200还有几个软件工具，如SigmaPlot，允许对图像和数据进行快速而精确的分析。该软件为图像处理、图像过滤和图像比较提供了易于使用的工具。这个功能强大的软件套件大大简化了数据评估和分析。该资产设计紧凑、高效，能够长时间无人值守运行，是晶圆测量应用的理想解决方桉。该模型设计可靠，着重重复性。TENCOR ALPHASTEP 200精度高，提供纳米精度，是精确晶圆测试和计量的绝佳选择。