二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9398835 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是专门为高性能IC材料表征而开发的晶圆测试和计量设备。该系统的两阶段成像体系结构结合了增强的自动化计量和缺陷检查功能,从而能够量化过程变化。它为客户提供实时可见性和改进的缺陷临界度量标准,以快速识别缺陷的来源并减少根本原因分析时间。KLA ALPHASTEP 200具有业界首个高达1000倍的晶片放大倍率,允许捕获详细的表面信息。这种放大允许小尺度变量的可视化，允许对光刻过程进行深入分析。凭借其先进的成像平台和软件套件，TENCOR ALPHA-STEP 200可以用传统方法检测和量化无法测量的变量。该设备的自动化计量软件套件结合了专利成像功能,能够对晶片或单个晶片站点进行定量2D分析。该软件强大的算法和自动化的测量系统允许精确的缺陷检测和自动化的测量，即使在积极放置结构。KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200独有的专利晶圆镶嵌功能为用户提供了整个模具区域的连续图像。这样就可以详细了解诸如电子束检查和3 D CMP平整等应用程序。这也为用户在决定如何优化流程时提供了更多信息。KLA Alpha Step 200旨在提高操作员的工作效率和易用性。该机器可与其他软件和硬件系统集成,并结合基于模板和基于图像的分析的通过/失败标准。用户友好的软件包还为客户提供了一个直观、易于使用的环境,从而能够快速高效地培训人员。当Alpha Step 200与其广泛的软件、附件和图像分析工具组合使用时,它为客户提供了一个功能极其强大的IC计量和缺陷检查工具。客户得益于其测量小规模变量的能力,同时还可以访问全面的自动化计量数据。该工具具有前所未有的放大倍率和缺陷检测功能,使其成为寻求快速识别和解决工艺变化的半导体制造商的理想选择。