二手 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #293812642 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 250是一种光学剖面仪，是一种高精度、大面积的计量和晶圆测试设备。它用于2-D制图、测量和分析大面积（高达25毫米2）晶片，如通过光刻、蚀刻和沉积工艺制造的晶片。KLA Alpha Step 250使用先进的非接触式光学技术,利用自动对焦双头配置,对晶片进行高精度和高精度的地形测量。该设备配备了电动XYZ扫描仪和集成的自适应光学器件，以提供高度稳定的测量和自动晶圆映射。此外，其双头显微镜配置能够同时进行双波长测量，允许用户定义的纳米分辨率特性。该系统由一个高性能控制器平台控制，该平台包括一个为方便设置和高效操作而优化的直观用户界面。此平台支持高通量操作,可实现快速高效的晶圆映射和重复测试或测量。它从XYZ扫描仪进行高速数据采集和处理，提供实时分析和精细成像，以更快的计量分析。TENCOR Alpha Step 250也能够提供3-D表面重建，以进行更深入的分析。它还可以测量轮廓参数,例如高度、宽度和半径。设备的高级光学配置还允许进行单垂直侧壁测量,这适用于特定于边缘的测量。最后,Alpha Step 250可在实验室和晶圆晶圆环境中提供可靠且可重复的性能。自动校准协议可确保机器提供准确的结果,而其强大的设计可确保即使在恶劣的环境条件下也能进行可靠且无故障的操作。