二手 KLA / TENCOR Alpha Step 250 #9284473 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 250晶圆测试和计量设备对半导体晶圆上的集成电路（IC）结构和工艺层提供超快速和精确的测量。它配备了非接触式白光干涉仪，利用先进的光学技术来测量表面特性，例如半导体晶片从微米到埃尺度的地形和粗糙度。该系统还支持其他计量技术，如集成聚焦离子束（FIB）和电离物质传输（TIS）技术，以便对器层和电路结构进行精确测量。该单元非常可靠,对于直径达200 mm的晶片,总测试可重复性误差（TRRE）低于4%。利用KLA Alpha Step 250，晶圆测量可以以线速进行，最大吞吐量为每小时150个晶圆，增强图像处理速度为10 us/像素。其内置的深度学习算法可实现准确高效的测量，而其智能层识别则可在后处理过程中识别层和过程。TENCOR Alpha Step 250提供了全面的测量数据能力，包括扫描电镜（SEM）、I-V测试和参数提取。此外,它在25至85°C之间的宽广工作温度范围允许机器在各种环境条件下工作。它内置的板载自动化功能可在连续和自动化的流程中实现顶部表面成像和缺陷检查。Alpha Step 250也是用户友好且易于配置的，使得它可以针对各种应用进行定制。它支持多种后处理工具，如用于自动地形特征提取的基于图形的算法，用于基于缺陷分类分析的非参数统计方法，以及便于审查晶圆数据的可视化技术。该平台还提供了直观的基于Web的用户界面，使用户可以从任何远程位置轻松控制、监视和配置该工具。KLA/TENCOR Alpha Step 250是最先进、最精确的晶圆测试和计量系统之一。它具有高精度扫描、提高速度和多用途后处理工具，是晶圆测试应用的绝佳选择。