二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #140855 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 300晶圆测试和计量设备是半导体工业中用来测试半导体芯片性能和质量的自动化测量工具。它对临界参数（如步高、表面粗糙度、图桉、线宽和长宽比）提供精确、可重复的测量。该系统使用干涉仪记录晶圆的轮廓，如果在高达300毫米的测量范围内，其精度为0.5纳米。这允许用户检测晶片形状的非常小的变化，这会对成品的质量产生深远的影响。KLA Alpha Step 300还具有自动模式识别功能,可精确测量模式,包括精确的位置和大小。板载光学显微镜为操作员提供了直接查看晶圆表面的增强能力。此外,自动化的软件工具还可以高精度地测量和分析大量数据。该设备能够测量每小时多达200个样本,并配备了数据存储和报告功能,可随时间推移轻松跟踪性能。TENCOR ALPHASTEP 300提供了一系列可选组件,以增强机器的性能和功能。可选的高速大视野线性扫描仪可将吞吐量速度提高到每小时500个样本。智能远程中心工具可自动将样品调整到光头,从而消除手动设置并提高吞吐量。一个独特的超声波换能器选项允许测量不均匀间隔的结构和多级结构的表征。ALPHASTEP 300晶圆测试和计量资产是一种自动测量工具，旨在提供精确、可重复的关键参数测量。它使用简单、坚固可靠，能够以0.5纳米的精度每小时测量数百个样品。一系列可选组件进一步增强了模型的性能和功能,使其成为寻求确保产品最高质量控制和性能水平的半导体制造商的理想选择。