二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9162861 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 300是一种用于半导体器件制造的晶圆测试和计量设备。KLA Alpha Step 300是一种在"亮场倒置显微镜"配置中运行的检查工具,提供多种功能,使用户能够优化性能和测量速度。Alpha Step可提供业界领先的0.5 μ m分辨率的检查,并具有自动聚焦监控、噪声和缺陷抑制功能,从而能够可靠地分析高长宽比材料,如碳纳米管和MEMS设备。先进的光子计数技术和先进的光子计数分裂光束技术即使在暗场环境下也能确保准确和可重复的结果。Alpha Step采用了石英上铬的专有配置,与传统的Baumeister光学相比具有优势。这样可以实现更快、更高质量的成像,并提高批量生产的吞吐量。除了传统的2D测量之外,系统还可以执行3D测量以获得更准确的结果。它还被设计用来测量"FinFET"晶体管，用于最新的制造工艺。TENCOR ALPHASTEP 300是晶圆级缺陷计量以及产量监测的理想选择。它为高级实时缺陷分析、大小确定和关键参数映射提供了广泛的频率范围支持。自动声框分析有助于精确测量薄膜厚度。该单元具有不同级别的高级自动化功能,例如前端示例加载,以满足大批量生产环境的需求。对于特定的应用，ALPHASTEP 300可以与高级计量系统集成，例如他们的WaferMapper和ReticleMapper自动扫描系统。这样可以实现相关和自动化的数据收集,并提供更高的吞吐量、更好的准确性和改进的缺陷解决方法。KLA ALPHASTEP 300还为客户提供了一个通用的晶片处理接口,用于加载不同音高和大小的晶片,并增加了一个拉推特性的好处,该特性允许在加载和卸载过程中对样品表面施加均匀的压力和温度。总体而言,TENCOR Alpha Step 300是一台可靠且易于使用的晶圆测试和计量机器,可实现准确且可重复的高通量测量,适用于小型和大型项目。