二手 KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9356929 待售
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KLA/TENCOR Alpha Step 300是一种晶圆测试和计量设备,旨在为光学检查和计量需求提供最大生产力。该系统基于公司的五轴干涉技术,允许用户在单程测量中捕获和量化尺寸和地形表面数据。KLA Alpha Step 300能够每秒测量多达50个局部点,可提供1nm的精度和可重复性,用于详细的表面测量。该单元非常适合半导体行业的应用,如表面地形表征、光刻鉴定和缺陷评估。该机器能够快速测量表面平坦度、粗糙度和线宽。TENCOR ALPHASTEP 300具有集成的激光和优化的光学设计,以及直观的用户界面和强大的基于PC的体系结构。该工具能够处理最新的先进基板,包括Si、GaAs和硅复合材料。KLA/TENCOR ALPHASTEP 300提供了广泛的功能,包括3D映射、多摄像头配置、自动测量以及集成的质量保证资产。该模型还能够测量结构,包括电路线路、颠簸和其他微观特征。KLA ALPHASTEP 300具有很高的精度和可重复性,能够对关键的光掩模特性(如图案同心度和大小)进行可靠的测量。该设备通过与KLA排泄性和迭加算法紧密集成,设计为最大限度的过程控制和可重复性。结合公司先进的软件,ALPHASTEP 300帮助半导体制造商确保产量和质量性能。该系统与公司广泛的计量解决方桉完全兼容,如Contura™和Actura™晶圆测试和计量系统。Alpha Step 300直观、易于使用的界面和强大的体系结构使其成为业界领先的晶圆测试和计量需求解决方桉。通过其先进的光学和集成的质量保证单元,机器提供了无与伦比的准确性和可重复性,使用户获得了晶圆级检查、缺陷审查等应用的高度准确可靠的结果。
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