二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #180058 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是为优化半导体制造过程控制而设计的晶圆测量和计量设备。它能快速测量晶片在生产和研发环境中的关键地形和器件特性。KLA Alpha Step 500具有亚纳米精度、模式识别速度快以及测量各种晶圆材料的灵活性。它还具有可以设置的自动化任务,允许轻松可靠的操作。创新的"每步一步"技术利用压电驱动悬臂作为扫描头来测量铝单层的地形和装置特性。它可以以亚纳米精度捕获任意模式的轮廓，并跟踪迁移步骤。此外,它的快速响应时间使用户能够快速量化表面粗糙度并分析轮廓趋势。这允许对晶圆制造过程进行串联监控。TENCOR ALPHASTEP 500可以测量各种其他半导体材料，如聚硅、复合半导体、III-V材料，以及金属合金等不同类型的材料。这允许表征各种类型的晶圆。高效的电动机减少了跟踪力，从而能够测量任意的光学结构。这结合灵活的扫描区域，使得KLA/TENCOR ALPHASTEP 500适合各种晶圆大小和格式。TENCOR Alpha Step 500易与前沿工艺控制工具集成，包括高分辨率的纳米级热成像系统，这是监控温度控制环境的关键组件。其高度先进的软件工具使用户能够控制和分析从整个晶圆的测量中获得的数据。它具有用户友好的图形用户界面，允许简单直观的单元操作。KLA ALPHASTEP 500是一种功能强大且用途广泛的晶圆测量和计量机器,即使在苛刻的生产环境中也能提供卓越而可靠的结果。它非常可靠，确保了精确的晶圆测量，并提供了满足广泛应用要求的灵活性。它提供了一种经济高效、可靠且用户友好的优化半导体制造过程控制的方法。