二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293660940 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是为最苛刻的晶圆测量和表征而设计的晶圆测试和计量设备。KLA Alpha Step 500提供高通量和精确的计量能力,非常适合半导体工艺开发、鉴定和生产。该系统具有安装在可变舞台上的双轴透镜,可灵活容纳各种样本量和类型。它配有成像板、16位数据采集单元和高分辨率直线电动机。TENCOR ALPHASTEP 500能够测量最大8英寸晶圆的直径。它提供自上而下和侧视图集成成像捕获和边缘检测功能。其先进的信号处理技术，包括缺陷特征分析，用于准确识别晶圆表面或产品边缘的缺陷。该单位用于测量材料的临界尺寸、轮廓、迭加和厚度等参数。在自动化和软件功能方面,该机器包括两个用户友好的软件-用于图像采集和缺陷图像分析的Konica TM和用于数据采集、分析和显示的Sigma Suite TM。该工具还提供实时直方图、实时过程控制、数据趋势、自定义报告生成以及按序列号进行跟踪。Alpha Step 500具有一流的光学性能,并提供多种高级测量功能,包括全频谱处理功能、高速数据处理、高分辨率垂直轮廓和测量、100 nm可重复性和快速Z高度可调性。此外,还根据IS09000和ESD标准对资产进行认证,以提高模型的可靠性和安全性。总体而言，KLA/TENCOR ALPHASTEP 500是一种先进的晶圆测试和计量设备，提供最先进的硬件和软件功能。它提供了快速、准确和可靠的计量结果，使其适合各种半导体工艺和生产应用。