二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293665099 待售

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ID: 293665099
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种晶圆测试和计量设备,设计用于精确测量半导体工业中使用的薄晶圆的平整度、厚度和对齐度。该系统采用自动望远镜瞄准装置,利用光学显微镜,测量晶圆的轮廓。这使机器能够可靠地产生高度精确的电气和运动计量结果。KLA Alpha Step 500包含一个由基于Windows的图形用户界面(GUI)提供支持的大型机,该大型机接收和管理来自该工具的所有数据。它提供了一个带有液晶屏的面向外部的控制面板,使用户能够远程控制资产。在其核心,主机由硬件如精密运动级,检测灯,滤波器和线性刻度。运动级用于提供晶圆的高度精确和受控的运动,而光学显微镜则提供了观察和测量晶圆较小特征的能力。这个主机与计算机视觉算法配对,从显微镜收集和评估数据。算法对数据进行解释,并在将其提供给大型机进行进一步分析之前对其进行后处理。此分析可用于生成晶圆属性的详细报告。TENCOR ALPHASTEP 500提供的结果比传统方法更快,具有很高的准确性和可重复性。此外,性价比高,操作维护方便。这使得它成为半导体行业晶圆测试和计量的理想选择。
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