二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293794175 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是晶圆测试和计量的通用、精确的设备。该系统适用于半导体制造的广泛应用，包括产量分析、工艺监测和器件表征。KLA Alpha Step 500以KLA AP932计量平台为特色，其中包括最精确的Laser Interferometer profiler，提供高精度和重复性，以及与Laser Interferometer集成的AFM/SPM平台。该平台允许高精度迭加、横截面和球面像差测量。此外，TENCOR ALPHASTEP 500包括先进的晶片逐晶圆对准控制，使其能够容纳大小和形状各异的晶片。该装置的机械精度和可靠性也保证了精确的测量结果。对于样品准备,Alpha Step 500允许自动加载和卸载晶片,以及手动加载和卸载晶片。该机器配备了操作控制，例如样品定心，以简化样品准备并确保准确的测量结果。此外,TENCOR Alpha Step 500提供了一系列内置分析工具,包括TENCOR专有的TOPSPIN胶片监控软件。该软件读取来自薄膜堆栈各层的低级薄膜均匀性数据，为用户提供深入的晶圆分析。KLA ALPHASTEP 500结合了嵌入式数据采集和解释工具，允许用户在资产的内部数据库中保存数据。该数据库使访问历史数据和简化统计过程控制变得更加容易。在性能方面，KLA/TENCOR ALPHASTEP 500具有0.5nm的空间精度和0.04nm的均方根粗糙度。该模型还提供了较高的刷新率,在单个测量中提供了可重复的结果和可靠的自动化分析。ALPHASTEP 500是用于设备和过程监控的通用且功能强大的工具。其先进的功能、精确度和可靠性使其成为晶圆测试和计量应用的理想选择。