二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #293809046 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是专门为半导体晶片和器件的快速准确测试而设计的晶圆测试和计量设备。它由一个功能单元组成,其中包含各种最先进的工具和组件,以及旨在简化测试设备尺寸和性能过程的软件和硬件。测试系统带有两个独立的AOI（Automated Optical Inspection）系统，可以检测晶圆表面的各种类型的缺陷。每个单元都能够检测到小于0.3 µm的特征大小,甚至可以识别最小的缺陷。还包括几个面向工艺的精密测量头，其特点是提高了单面和双面晶片测试的准确性和可重复性。该机器还包括一个共聚焦检查器，一个高精度的微观成像工具，利用一个针点光源和一个先进的CCD相机，以确保准确的缺陷检测。Confocal Inspector提供设备的低噪声3D图像，然后可以分析以确定各种特性。资产还配备了一个增强的光学封装，专注于测量表面，如晶圆的边缘，以及一般的晶圆模式识别。此软件包还提供高分辨率像素特征分析模型,像素大小可降至0.2 µm,用于分析设备特征。KLA Alpha Step 500是一个高度自动化的流程,具有完整的触摸屏用户界面,可简化操作并帮助确保尽可能高的准确性。该软件还包括一个远程控制选项,允许从任何位置进行完整的远程过程控制。总体而言，TENCOR ALPHASTEP 500是一种功能强大、可靠且用途广泛的工具，用于对半导体晶片和器件进行准确和可重复的分析。该设备具有最先进的功能，如自动光学检查、共聚焦检测器显微镜和增强的光学器件，确保晶圆测试和计量的最佳结果。