二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9073857 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种晶圆测试和计量设备，设计用于对各种半导体材料进行超高精度测量。它能够以极高的精度测量各种器件结构，非常适合半导体制造中先进应用的关键工艺开发和监控。该系统配有一个用于详细检查表面和界面的强大光学显微镜、一个能够进行精细运动控制的舞台和一个用于地形表征的扫描探针显微镜。KLA Alpha Step 500具有精确的扫描和成像功能,是用于缺陷和模式分析以及解决关键尺寸和形状信息的完美工具。该单元与一套用于半导体应用的高级计量和检验工具集成在一起。这包括噪声和模煳拟合软件、3D成像和分析,以及剥离的厚度估计和实时过程监控。该机还配备了一套测量选项，包括原位测量、高分辨率表面分析、电气测量和峰值信号检测。与该工具集成的多传感器平台允许同时获取复杂半导体结构精确表征所需的高度敏感参数。对资产的自动控制使用户能够以高精度和可重复性测量样品,即使在高吞吐量的生产方桉中也是如此。TENCOR ALPHASTEP 500提供强大的晶圆级功能和业界最高的精度。它非常适合设备设计、工艺开发、原型制造、工艺开发和生产工艺支持。TENCOR Alpha Step 500能够满足半导体制造的最高质量要求,是任何尖端半导体制造商的宝贵资产。