二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9081303 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种设计用于故障分析和亚微米过程控制的高性能晶圆测试和计量设备。该系统旨在用于测量晶圆平坦度、边缘质量、晶圆变薄和亚微米级的覆盖。KLA Alpha Step 500利用多传感器平台,利用激光干涉测量、电容和光学技术提供高精度测量。平台的多传感器能力允许同时测量晶圆平面度、轮廓、覆盖、变薄和临界尺寸等多个晶圆特性以及边缘分析。TENCOR ALPHASTEP 500具有模块化设计，允许用户配置单元以满足特定的应用和需求。这台机器有两种尺寸,台式机配置最多20个传感器,或者两层配置最多40个传感器。该工具还具有基于Web浏览器的集成控制界面,允许用户从任何Web连接的设备控制资产,以及内置视频模型,以便于查看晶圆对齐和质量。TENCOR Alpha Step 500利用了先进的多波束采样器,能够改进晶圆的特性以及可靠和可重复的测量。该设备的先进算法和自动化功能（如晶圆跟踪、扫描速率调整和晶圆坐标集）进一步增强了设备的测量能力,从而实现了一致的数据收集。该系统还能够自动进行单位健康监测的自检程序，以确保持续的业绩并降低昂贵的服务成本。KLA ALPHASTEP 500是业界领先的晶圆测试和计量学单元，在亚微米级提供可靠和可重复的测量。机器采用模块化设计和多传感器平台，允许用户根据自己的特定应用和需求配置工具。高级功能,如集成的Web浏览器界面、多光束采样器和自动自检例程,确保资产提供准确可靠的结果。