二手 KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9084578 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 500是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于测量包括半导体、光电和微机械元件在内的多种材料的厚度、组成、几何轮廓和电气性能。该系统结合了光学干涉测量、红外光谱和电容-电压技术，在广泛的基板上收集数据。KLA Alpha Step 500使用其非常精确的三维光学聚焦技术,测量几乎所有材料的厚度,其精确度可降至纳米的一小部分。这使得它能够同时测量晶片材料的组成和组成分布，并测试其电性能，如电阻和电流泄漏特性。这使设备能够检测坏批次并测量晶片的粗糙度变化。TENCOR ALPHASTEP 500利用高性能红外光谱仪和电容电压数据采集系统来表征半导体和光电晶片。这台机器可以辨识各种化合物半导体材料系统，如硅​​、氮化铵、氮化硅，并以亚单层分辨率测量其底物表面成分分布。此外,KLA/TENCOR ALPHASTEP 500能够实时定位光学视场,从而能够精确测量该层的组成和厚度。KLA ALPHASTEP 500需要清洁室环境才能正确执行所有测量。该工具还具有一个可靠的自动化平台与机械臂配备不同的探头。这确保了基板特性的可重复测量,并实现了高吞吐量分析。Alpha Step 500是材料研发、半导体和光电制造线的工艺和质量控制的理想选择。这一资产也是一个先进的工具，用于表征和分析不断缩小的、高复杂度的微电子元件。